जैसे-जैसे वैश्विक सेमीकंडक्टर प्रक्रिया 3nm/2nm के उन्नत नोड्स की ओर बढ़ती है, परिशुद्धता टाइटेनियम सामग्री (एएसटीएम बी265/बी348, ग्रेड 1/2/5 उच्च शुद्धता टाइटेनियम और टाइटेनियम मिश्र धातु) सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए "सहायक सामग्री" से प्रमुख रणनीतिक सामग्री में अपग्रेड हो रही है, जिसमें मुख्य लाभ जैसे अल्ट्रा {8} उच्च शुद्धता, अल्ट्रा - कम अशुद्धियाँ, मजबूत तापीय स्थिरता, शामिल हैं। संक्षारण प्रतिरोध, और गैर -चुंबकीय गुण। बाजार का ध्यान और मांग एक साथ बढ़ रही है।
कोर ड्राइवर: उन्नत प्रक्रियाएँ सामग्री उन्नयन को बाध्य करती हैं
उन्नत अर्धचालक प्रक्रियाओं (5 एनएम और नीचे) के लिए सामग्री के लिए तीन प्रमुख हार्ड कोर आवश्यकताओं की आवश्यकता होती है: नैनोमीटर स्तर की सटीकता, परमाणु स्तर की सफाई, और अत्यधिक पर्यावरणीय स्थिरता:
-उच्च शुद्धता टाइटेनियम लक्ष्य सामग्री (ग्रेड 1, शुद्धता 99.999%/5एन से अधिक या उसके बराबर): पीवीडी स्पटरिंग कोर सामग्री, तांबे के इंटरकनेक्ट बैरियर परत, संपर्क प्लग के लिए उपयोग की जाती है, सिलिकॉन वेफर्स को दूषित करने से तांबे के परमाणु प्रसार को रोकने के लिए, सीधे चिप उपज और प्रदर्शन का निर्धारण करती है, जो संपूर्ण 130-3एनएम प्रक्रिया के लिए उपयुक्त है।
-सटीक संरचनात्मक घटक (ग्रेड 2/5): लिथोग्राफी मशीन वर्कटेबल, नक़्क़ाशी मशीन कक्ष, वैक्यूम निकला हुआ किनारा, वेफर रोबोटिक बांह, आदि, कम तापीय विस्तार गुणांक (8.6 × 10 ⁻⁶/ डिग्री) और एल्यूमीनियम मिश्र धातु के केवल 1/3 के तापमान में उतार-चढ़ाव विरूपण के साथ, नैनोमीटर स्तर की स्थिति सटीकता सुनिश्चित करते हैं।
-संक्षारण प्रतिरोधी घटक (ग्रेड 7): गीली नक़्क़ाशी और सफाई उपकरणों में मजबूत एसिड/हैलोजन संक्षारण के प्रतिरोधी, धातु वर्षा प्रदूषण के बिना, उच्च वैक्यूम और मजबूत प्लाज्मा चरम कामकाजी परिस्थितियों के लिए उपयुक्त।
अमेरिकी मानक टाइटेनियम सामग्री के मुख्य लाभ
1. अति उच्च शुद्धता + अति {{2} कम अशुद्धियाँ: अमेरिकी मानक ग्रेड 1 उच्च {{4} शुद्धता टाइटेनियम नियंत्रणीय ऑक्सीजन / नाइट्रोजन / कार्बन अशुद्धियों के साथ<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. थर्मल स्थिरता + आयामी परिशुद्धता: कम तापीय चालकता (21.9W/(m · K)), थर्मल विस्तार का छोटा गुणांक, ± 0.005 मिमी तक सहनशीलता, सतह की चिकनाई रा 0.4 μ मीटर से कम या उसके बराबर, नैनोस्केल असेंबली और वैक्यूम सीलिंग के लिए उपयुक्त।
3. संक्षारण प्रतिरोध+गैर-चुंबकीय+कम गैस रिलीज: प्राकृतिक ऑक्साइड परत स्वतः{{4}उपचार, सीएल ₂/एफ ₂/मजबूत एसिड संक्षारण के लिए प्रतिरोधी; गैर चुंबकीय और सटीक सर्किट में हस्तक्षेप न करने वाला; अल्ट्रा{{5}हाई वैक्यूम (यूएचवी) के तहत हवा निकलने की दर बेहद कम है, जिससे चैम्बर की सफाई सुनिश्चित होती है।
4. हल्का और उच्च शक्ति: 4.51 ग्राम/सेमी ³ का घनत्व (स्टेनलेस स्टील से 40% हल्का), ग्रेड 5 तन्य शक्ति 930MPa से अधिक या उसके बराबर, स्टेनलेस स्टील की तुलना में दोगुनी विशिष्ट शक्ति, उच्च गति से चलने वाले भागों की हल्की आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त।
मुख्य अनुप्रयोग परिदृश्य
-उच्च शुद्धता टाइटेनियम लक्ष्य सामग्री (ग्रेड 1): पीवीडी स्पटरिंग डिपोजिशन, लॉजिक/स्टोरेज चिप बैरियर परत और चिपकने वाली परत के लिए उपयोग किया जाता है, 2024 में 1.87 बिलियन अमेरिकी डॉलर के वैश्विक बाजार आकार और 2026 से 2030 तक 9.3% की सीएजीआर के साथ।
-वैक्यूम चैंबर/फ्लैंज (ग्रेड 2): नक़्क़ाशी और जमाव उपकरण के लिए वैक्यूम सिस्टम, उच्च दबाव, कम गैस रिलीज और विश्वसनीय सीलिंग के लिए प्रतिरोधी।
{{0}प्रिसिजन रोबोटिक आर्म/एंड इफ़ेक्टर (ग्रेड 5): वेफर ट्रांसफर, हल्का और उच्च शक्ति, सटीक स्थिति, और कोई कण बहाव नहीं।
-संक्षारण प्रतिरोधी अस्तर/स्थिरता (ग्रेड 7): गीली प्रक्रिया वाले उपकरण, एचएफ/एचसीएल जैसे मजबूत एसिड के प्रतिरोधी, उपकरण के जीवन को बढ़ाते हैं और रखरखाव की लागत को कम करते हैं।
बाज़ार की प्रवृत्ति: घरेलू प्रतिस्थापन+तकनीकी सफलता
वैश्विक सेमीकंडक्टर क्षमता के विस्तार (विशेषकर चीनी मुख्यभूमि में) ने सटीक टाइटेनियम सामग्री की मांग में तेजी से वृद्धि को प्रेरित किया है। 2023 में, अर्धचालकों के लिए चीन के टाइटेनियम परिशुद्ध भागों का बाजार आकार 25% से अधिक की वार्षिक वृद्धि दर के साथ 3 बिलियन युआन से अधिक हो जाएगा। अमेरिकी मानक ग्रेड 1/2/5 परिशुद्धता टाइटेनियम सामग्री (0.05 मिमी अल्ट्रा {{9} पतली टाइटेनियम फ़ॉइल, उच्च - शुद्धता लक्ष्य सामग्री और सटीक संरचनात्मक घटकों सहित) का स्थिर बड़े पैमाने पर उत्पादन हासिल किया गया है, सहनशीलता और शुद्धता अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गई है, जिससे सेमीकंडक्टर उद्योग श्रृंखला को स्वतंत्र रूप से नियंत्रित करने में मदद मिली है।
उन्नत प्रक्रियाओं और दोहरे पहिया ड्राइव के घरेलू प्रतिस्थापन के तहत, अमेरिकी मानकों को पूरा करने वाली सटीक टाइटेनियम सामग्री सेमीकंडक्टर उद्योग के उन्नयन के लिए मुख्य समर्थन बन गई है। भविष्य में, वे उच्च शुद्धता (6N), पतले विनिर्देशों (0.05 मिमी से कम या उसके बराबर), और अधिक सटीक मशीनिंग (± 0.002 मिमी) की ओर बढ़ना जारी रखेंगे।
एक उद्धरण का अनुरोध करें
व्हाट्सएप:+8613571718779
